一种隔断式MEMS引信,包括药剂层,药剂层上部和药剂盖板层通过键合的方式连接,药剂层下部和安保装置层上部通过键合的方式连接,安保装置层下部和加速膛层黏贴,安保装置层包括硅衬底层,二氧化硅层以及可动硅结构层依次制作在硅衬底层上,在可动硅层中制作有四组驱动器,每组驱动器的右、左金属电极分别制作在右、左锚点上,呈阵列的V型热电执行器的两端分别与左、右锚点相连,杠杆的首端通过右柔性梁与中间臂相连,下锚点通过左柔性梁与杠杆的首端相连,隔板位于杠杆的末端并且制作有互锁槽与互锁齿,与相邻隔板对应的互锁齿及互锁槽形成互锁,本发明将MEMS技术应用到引信,具有低成本、高智能、易集成的特点。
专利号 | CN201510790210.X | 专利分类 | 发明专利 |
专利交易状态 | 转让技术成果 | 有效截止时间 | 2020-06-14 |
合作方式 | 成果转让 |
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