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滑动部件

分类 : 专利

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日期 : 2018-02-23

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详细内容

形成高精度的滑动面(S),在该滑动面(S)上不会附着与形成于滑动面(S)上的正压产生槽(11a)和负压产生槽(15a)的加工相伴随的飞散物质等,并平坦地形成在滑动面(S)上形成的正压产生槽(11a)和负压产生槽(15a)的底面。其特征在于,包括以下工序:准备一对滑动部件(3、5)的至少一侧的滑动部件(3、5)的工序;以及向滑动部件(3、5)的滑动面(S)的形成正压产生槽(11a)、负压产生槽(15a)的部分照射超短脉冲激光而去除滑动面(S)的表面的一部分,由此在滑动面(S)上形成深度为0.05μm~5μm的范围的浅槽(11a、15a)的加工工序,在加工工序中使用的超短脉冲激光的能注量为0.5J/(cm2.脉冲)~7J/(cm2.脉冲)。

专利信息

专利号 CN201580009252.3 专利分类 发明专利
专利交易状态 转让技术成果 有效截止时间 2019-02-23
合作方式 合作开发

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