详细内容
形成高精度的滑动面(S),在该滑动面(S)上不会附着与形成于滑动面(S)上的正压产生槽(11a)和负压产生槽(15a)的加工相伴随的飞散物质等,并平坦地形成在滑动面(S)上形成的正压产生槽(11a)和负压产生槽(15a)的底面。其特征在于,包括以下工序:准备一对滑动部件(3、5)的至少一侧的滑动部件(3、5)的工序;以及向滑动部件(3、5)的滑动面(S)的形成正压产生槽(11a)、负压产生槽(15a)的部分照射超短脉冲激光而去除滑动面(S)的表面的一部分,由此在滑动面(S)上形成深度为0.05μm~5μm的范围的浅槽(11a、15a)的加工工序,在加工工序中使用的超短脉冲激光的能注量为0.5J/(cm2.脉冲)~7J/(cm2.脉冲)。
专利信息
专利号 |
CN201580009252.3 |
专利分类 |
发明专利 |
专利交易状态 |
转让技术成果 |
有效截止时间 |
2019-02-23 |
合作方式 |
合作开发 |
联系人姓名 |
认证用户可见 |
联系人QQ |
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联系人电话 |
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联系人邮箱 |
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联系人地址 |
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联系人单位 |
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区域 |
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