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更高分辨率和灵敏度的光致产酸剂是全球光刻胶产品发展的一大趋势,所要解决的关键技术问题是,光致产酸剂的质量稳定性、分辨率、灵敏度问题。
主要技术经济指标
产品指标 单位 指标要求
1)色谱纯度 area% ≥ 99.9
2)残留溶剂含量 wt% ≤ 0.10
3)水分含量 wt% ≤ 0.10
4)总酸 mol/kg ≤ 0.002
5)总碱 mol/kg ≤ 0.002
6)金属离子含量 ppb ≤ 10
技术信息
信息分类 |
成果 |
愿意合作方式 |
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成果成熟度类型 |
合作开发 |
有效截止时间 |
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交易状态 |
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联系人电话 |
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联系人邮箱 |
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联系人单位 |
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区域 |
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