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通过反应优化技术、特征杂质辨识去除技术、精密精馏与其它分离技术耦合、金属离子和颗粒度控制技术的应用,超纯产品分析技术和包装、质保体系的完善,突破G5级有机电子化学品生产关键共性技术。
其难点在于:GBL-NMP合成工艺的高温高压及催化剂等因素都对难分离杂质及工艺敏感杂质的控制带了更大的难度;电子化学品对金属离子、颗粒物等指标有着严格要求,在技术方面需要催化剂技术、反应技术、精密精馏技术、离子交换技术、膜过滤技术等多技术的共同突破及耦合使用,加大了技术研发的难度;同时GBL-NMP生产流程长,需要建立与下游半导体客户相适应的有机湿电子化学品质量保证体系,质保体系的高要求、高投入也是湿电子化学品技术开发的一大难点。
项目完成后预计产品指标达到G5级湿电子化学品技术指标,NMP、GBL单品产品纯度≥99.95%,金属离子≤0.01ppb,颗粒物≥0.5μm,≤5(个/mL),颗粒物≥0.3μm,≤30(个/mL),其分离能耗指标低于国内现有水平20%以上。建设5000吨/年G5级GBL-NMP生产示范装置,装置达产后年新增产值4亿元,利税1亿元。
技术信息
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